Entstehung und Entwicklung

des Dresdner

Mikroelektronik-Clusters

Silvio Püschel

Lehrstuhl für Wirtschaftspolitik

Technische Universität

Bergakademie Freiberg

Diplomarbeit zur Erlangung des akademischen Grades

,,Diplom-Kaufmann"

Dezember 2004

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I

Inhaltsverzeichnis

Abkürzungsverzeichnis IV

Abbildungsverzeichnis VII

Tabellenverzeichnis VIII

1. Einleitung 1

2. Theoretische Grundlagen 3

2.1. Cluster 3

2.1.1. Begriffsdefinition 3

2.1.2. Merkmale 6

2.1.3. Entstehung und Entwicklung 8

2.2. Eigenschaften und Entstehung von Wissen 12

2.3. Lokales Wissen: Spillover und Transaktionskosten 18

2.4. Die Bedeutung von ,,face-to-face"-Kontakten 23

2.5. Pfadabhängigkeit von Regionen 25

3. Die Entstehung des Dresdner Mikroelektronik-Clusters 29

3.1. Vielfältige Wurzeln 29

3.2. Gründung einer ,,Arbeitsstelle" 33

3.3. Zeit der Kombinate 36

3.4. Niedergang und Gründungswelle 44

3.5. Bau der ,,Leuchttürme" 49

3.6. Ergebnisse der bisherigen Entwicklung 56

4. Standortfaktoren 61

4.1. Humankapital 61

4.2. Infrastruktur 63

4.3. Netzwerke 67

4.4. Politik und finanzielle Förderung 70

4.5. Die räumliche Nähe zu Chemnitz und Freiberg 72

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II

4.6. Weitere Standortfaktoren 74

5. Der Dresdner Mikroelektronik-Cluster 75

5.1. Beschreibung des Clusters 75

5.1.1. Geographischer Bereich 75

5.1.2. Internationale Bedeutung 79

5.1.3. Innovationsfähigkeit 80

5.1.4. Eigentümerstruktur 85

5.2. Funktionsweise des Clusters 87

5.2.1. Horizontale Beziehungen 87

5.2.2. Vertikale Beziehungen 91

6. Fazit 98

Literaturverzeichnis 100

Interviewpartner 107

Anhang A-1

I. Biographie: Prof. Dr.-Ing. habil. Werner Hartmann A-1

II. Chronologische Übersicht zur Entwicklung der ZMD AG A-5

III. Profile von Unternehmen und Forschungseinrichtungen A-9

1. Hersteller A-9

a. Advanced Micro Devices, Inc. Saxony Limited Liability

Company & Co. KG A-9

b. Infineon Technologies Dresden GmbH & Co. OHG A-11

c. KSW Microtec AG A-13

d.

Microelectronic Packaging Dresden GmbH A-14

e.

Philips Semiconductors Dresden AG A-15

f.

RHe Microsystems GmbH A-16

g.

SAW Components Dresden GmbH A-17

h.

Zentrum Mikroelektronik Dresden AG A-18

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III

2. Forschungseinrichtungen A-20

a.

Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG A-20

b. Forschungszentrum Rossendorf e.V.,

Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung A-21

c. Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen, Außenstelle

Entwurfsautomatisierung Dresden A-22

d.

Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme A-24

e.

Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahlentechnik A-25

f. Technischen Universität Dresden,

Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik A-26

3. Zulieferer A-27

a. DuPont Photomasks Germany GmbH A-27

b. Süss MicroTec Test Systems GmbH A-28

IV. Niederlassungen internationaler Ausrüstungshersteller in Dresden A-29

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IV

Abkürzungsverzeichnis

ADZ

ADZ Sensortechnik GmbH

AMD

Arbeitsstelle für Molekularelektronik Dresden

AMD

Advanced Micro Devices, Inc.

AME

Arbeitsstelle für Molekularelektronik

AMI

American Microsystems Semiconductor Inc.

AMTC

Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG

ASIC

Application Specific Integrated Circuit

ASSP

applikationsspezifische Standardprodukte

BMBF

Bundesministerium für Bildung und Forschung

BMW

Bayrische Motoren Werke AG

BTI

Beratungsgesellschaft für Technologietransfer und

Innovationsförderungs mbH

CMOS

Complementary Metal Oxide Semiconductor

CNT

Fraunhofer-Center für Nanoelektronische Technologien

DAS

Dünnschicht Anlagen Systeme Dresden GmbH

DDR

Deutsche Demokratische Republik

DERU

DERU Planungsgesellschaft für Energie-, Reinraum-

und Umwelttechnik mbH

DEWB

Deutsche Effecten- und Wechsel-Beteiligungsgesellschaft AG

DIW

Deutsches Institut für Wirtschaftsforschung

DPI

DuPont Photomasks, Inc. Germany GmbH

DRAM

Dynamic Random Access Memory

EAS

Außenstelle Entwurfsautomatisierung Dresden

EFDS

Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e.V.

FEP

Fraunhofer Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik

Fh Fraunhofer-Institut

FHR

FHR Anlagenbau GmbH

FZR

Forschungszentrum Rossendorf e.V.

F&E

Forschung und Entwicklung

HTT

high tech trade GmbH

---

V

HTW

Hochschule für Technik und Wirtschaft Dresden

i.L.

in

Liegenschaft

IBM

Intl Business Machines Corp.

IC

Integrated Circuit (integrierter Schaltkreis)

idv

Institut für Datenverarbeitung

IE

Institut für Elektronik

IHM

Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik der TU Dresden

IIS

Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen

IKB

Industrie

Kreditbank

IMD

VE Institut für Mikroelektronik Dresden

IMR

Institut für maschinelle Rechentechnik Dresden der Deutschen

Akademie der Wissenschaften Berlin

IMS

Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und

Systeme Duisburg, Institutsteil Dresden

Inc.

Incorporation

(Aktiengesellschaft)

Infineon

Infineon Technologies Dresden

IPMS

Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme Dresden

ISS

ISS

GmbH

IWS

Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahlentechnik

KfW

Kreditanstalt für Wiederaufbau

KME

VEB Kombinat Mikroelektronik Erfurt

LED

Light Emitting Diode (Leuchtdiode)

LLC

Limited Liability Company

MEMS

Mikro-Elektro-Mechanische-Systeme

MOEMS

Mikro-Opto-Elektro-Mechanische-Systeme

MOS

Metal-Oxid-Semiconductor

MPD

Microelectronic Packaging Dresden GmbH

MTG

Mikroelektronik und Technologie Gesellschaft mbH Erfurt

MZD

Maskenzentrum Dresden GmbH

NAGEMA

Nahrungs- und Genussmittelmaschinenbau

OLED

Organic Light Emitting Diode (organische Leuchtdiode)

Ortner c.l.s. Ortner cleanroom logistic systems GmbH

---

VI

P-MZD

Photronics MZD GmbH

RAFENA

Radeberger Fernseh- und Nachrichtentechnik

RHe

RHe (Radeberger Hybridelektronik) Microsystems GmbH

SAD

VEB Schwingungstechnik und Akustik

SAG

Sowjetische

Aktiengesellschaft

SAW

SAW Components Dresden GmbH

SC300

Semiconductor300 GmbH & Co. KG

SGT

Silicon-Gate-Technologies

SRAM

Static Random Access Memory

TH

Technische

Hochschule

TTL

Transistor-Transistor-Logik

TU

Technische

Universität

TUD

Technische Universität Dresden

VDE

Verband der Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik

VE

Volkseigen

VEB

Volkseigener

Betrieb

VVB

Vereinigung volkseigener Betriebe

WTZEM

Wissenschaftlich-Technisches Zentrum der Elektronischen

Messtechnik

XENON

XENON Automatisierungstechnik GmbH

ZFT

VEB Zentrum für Forschung und Technik des Kombinats Robotron

ZFTM

VEB Zentrum für Forschung und Technologie Mikroelektronik

Dresden

ZMD

Zentrum Mikroelektronik Dresden

ZIA

Zentralinstitut für Automatisierungstechnik

ZKI

Zentralinstitut für Kybernetik und Informationsprozesse

---

VII

Abbildungsverzeichnis

Abbildung 1: Arten von Wissen 13

Abbildung 2: Beziehung zwischen Individuum, Organisation und Region 15

Abbildung 3: Die Entstehung von neuem Wissen 17

Abbildung 4: Entstehung der Betriebe des Kombinates Robotron in Dresden ..37

Abbildung 5: Die Unternehmen und Forschungseinrichtungen der

Mikroelektronik bis 1989 43

Abbildung 6: Die Entwicklung von standortprägenden Unternehmen

seit

1989 55

Abbildung 7: Beschäftigungsentwicklung von Infineon, AMD und ZMD in

Dresden 56

Abbildung 8: Investitionen von Infineon, AMD und ZMD in Dresden

seit

1993 57

Abbildung 9: Umsatzentwicklung der ZMD AG, ihrer Tochter-GmbH MPD

und der XENON GmbH 58

Abbildung 10: Entwicklung des Halbleitermarkt in Millionen US$ 59

Abbildung 11: Jährliches Wachstum des Halbleitermarktes 60

Abbildung 12: Die geographische Lage von Akteuren des Clusters 76

Abbildung 13: Die Konzentration von Akteuren des Clusters im und um den

Stadtteil

Dresden-Klotzsche 79

Abbildung 14: Segmente des Halbleitermarktes 87

Abbildung 15: Fertigungsprozess der Chipherstellung 93

Abbildung 16: Wertschöpfungskette der Halbleiterindustrie 94

Abbildung 17: Interaktion ausgewählter Akteure des Clusters 97

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VIII

Tabellenverzeichnis

Tabelle 1:

Anzahl der Beschäftigten in außeruniversitäre Forschungs-

einrichtungen mit Bezug zur Mikroelektronik 66

Tabelle 2:

Akteure des Dresdner Mikroelektronik-Clusters (siehe

Abbildung 12 und 13) 78

Tabelle 3:

Eigentümer ausgewählter Unternehmen 86

Tabelle A1:

Chronologische Übersicht zur Entwicklung der ZMD AG A-5

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1

1. Einleitung

Die Mikroelektronik ist eine Schlüsseltechnologie unserer Zeit. Ihre Produkte

begegnen uns häufig im täglichen Leben. Ohne sie würde es z.B. keine Mobil-

funktelefone und Computer geben. Sie ermöglicht verbesserte Informations- und

Kommunikationstechnologien und ebnete damit den Weg für die Globalisierung

der Wirtschaft. Mit der Globalisierung verliert der Standort eines Unternehmens

eigentlich an Bedeutung, da Kapital und Waren kostengünstiger transferierbar

sind. Das Gegenteil ist jedoch der Fall, der Standort und damit die Standortwahl

von Unternehmen haben eine zunehmende Bedeutung bekommen (vgl. Fritsch et

al., 1998, 244 f.). Dabei werden die innovativsten und wachstumsstärksten Regio-

nen in der jeweiligen Branche bevorzugt. Der führende Standort in der Mikro-

elektronik ist das ,,Silicon Valley" in den USA. Es ist das Musterbeispiel für einen

erfolgreichen Cluster (vgl. Saxenian, 1985). Cluster bieten eine Erklärung dafür,

warum der Standort immer wichtiger wird, sich bestimmte Regionen wirtschaft-

lich besser entwickeln und Unternehmen in diesen Regionen meist innovativer

sind (vgl. Porter, 1998). Auch in Deutschland existieren Cluster, wie z.B. die opti-

sche Industrie in Wetzlar (vgl. Enright, 2003, 109), die Essbesteckindustrie in

Solingen (vgl. van der Linde, 2003, 141) und die opto-elektronische Industrie in

Jena (vgl. Krätke und Scheuplein, 2001, 9). Ein weiterer deutscher Cluster ist dem

Vorbild ,,Silicon Valley" im Bezug auf seinen Namen und der Branche ähnlich.

Die Rede ist vom ,,Silicon Saxony", dessen Zentrum in der sächsischen Landes-

hauptstadt Dresden liegt. In dieser Stadt hat sich in den letzten Jahren ein innova-

tiver und wachstumsstarker Standort der Mikroelektronik entwickelt.

Wie bilden sich aber Cluster? Was macht sie erfolgreich? In der Literatur über

Cluster wird verstärkt davon ausgegangen, dass die Wissensbasis einer Region

entscheidend für den wirtschaftlichen Erfolg ist. Innovationen entstehen durch

neues Wissen, dafür ist aber bereits vorhandenes Wissen notwendig. Wissen ist

kumulativ, es baut aufeinander auf und entwickelt sich entlang eines bestimmten

Pfades. Weitere Pfade können entstehen, eine Wissensbasis bildet sich heraus.

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