Wissenschaftliche Texte zu Precursoren

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Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik

Autor:in: Thomas Wächtler (Autor:in)

Fach: Elektrotechnik

Kategorie: Diplomarbeit , 2004 97 Seiten , Note: 1,3

Katalognummer: 92779

Preis: US$ 42,99