Academic texts about Gasphasenabscheidung

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Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik

Autor:in: Thomas Wächtler (Author)

Subject: Electrotechnology

Category: Diploma Thesis , 2004 97 Pages , Grade: 1,3

Catalog Number: 92779

Price: US$ 42.99