Thomas Wächtler

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Auteur depuis: 20/5/2008

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Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik

Matière: Electrotechnique

Catégorie: Mémoire (de fin d'études) , 2004 97 Pages , Note: 1,3

N° de catalogue: 92779

Prix: US$ 39,99