Methoden und Maschinentechnik für die Qualitätssicherung von Mikroteilen

Inhaltsverzeichnis

Abkürzungen

1 Einleitung
1.1 Motivation
1.2 Zielsetzung
1.3 Aufbau der Arbeit

2 Mikrosystemtechnik
2.1 Einführung
2.2 Bedeutung der Mikrosystemtechnik
2.3 Einsatzbereiche und Marktpotential
2.4 Herausforderungen in der Mikrosystemtechnik
2.4.1 Technische Herausforderungen
2.4.2 Wirtschaftliche Herausforderungen

3 Qualitätssicherung von Mikrobauteilen
3.1 Ermittlung von Anforderungen in der Mikro-Messtechnik
3.1.1 Bedeutung der Messtechnik
3.1.2 Übertragung der Normenanforderungen für Mikrobauteile
3.1.3 Implizite Anforderungen beim prüftechnischen Umgang mit Mikrokomponenten
3.2 Geeignete Mikro-Messverfahren zur Qualitätssicherung
3.2.1 Konfokale Mikroskopie
3.2.2 Weißlichtinterferometrische Mikroskopie (WLI)
3.2.3 Digitale Holographische Mikroskopie (DHM)
3.2.4 Optisches Rasternahfeldmikroskop (SNOM)
3.2.5 Fiberskop
3.2.6 (Mikro-) Streifenprojektion
3.2.7 Rastersondenmikroskopie (SPM)
3.2.8 Rasterelektronen-Mikroskopie (REM)
3.2.9 Mikro-Koordinatenmessgeräte (MCMM)
3.3 Umsetzbarkeitsbetrachtung

4 Automatisierungstechnik für die Qualitätssicherung von Mikrobauteilen
4.1 Anforderungen an die automatisierte Qualitätssicherung
4.2 Automatisierungstechnik in der Mikro-Qualitätssicherung
4.2.1 Großraum-Positioniereinheiten
4.2.2 Mikro-Manipulatoren
4.2.3 Mikro-Greifer
4.2.4 Transportsysteme
4.2.5 Komponenten zur Prozessüberwachung
4.3 Umsetzbarkeitsbetrachtung

5 Zusammenfassung und Ausblick
5.1 Zusammenfassung
5.2 Ausblick

Abbildungsverzeichnis

Literaturverzeichnis

Anhang