Die Mikrosystemtechnik kann als eine Basistechnologie bezeichnet werden, auf der eine Vielzahl von Innovationen in den unterschiedlichsten Branchen beruhen. Ihr wird zudem ein großes Wachstumspotential in absehbarer Zukunft zugerechnet, das neue Chancen zur strategischen Ausrichtung vieler, insbesondere kleiner Unternehmen bietet. Diesem Marktpotential stehen zurzeit noch Umsetzungs- und Effizienzprobleme in der Produktion entgegen, die es zu lösen gilt. Grundursache hierfür sind vor allem die zahlreichen Herausforderungen im Umgang mit winzigen Mikrokomponenten, wie z.B. störende adhäsive Kräfte, die eine Montage erschweren. Als ein wesentlicher Schwachpunkt in den Forschungstätigkeiten im Bezug auf die Produktivität kann heute ein unzureichender Fokus auf eine moderne Qualitätssicherung beklagt werden. Anders als in der Makro-Welt gestalten sich insbesondere die Mess- und Prüfprozesse als problematisch, da der Messunsicherheit aufgrund der kleinen Ausmaße der Bauteile eine größere Bedeutung zukommt. Um dennoch aussagekräftige Bewertungen von Mikrokomponenten machen zu können, gilt es diese Messunsicherheit durch eine Vielzahl von Maßnahmen zu minimieren. Für die Durchsetzung einer produktionsbegleitenden und vollautomatisierten Qualitätssicherung, bedarf es also Messtechnologien und Automatisierungstechnik, die diesen Herausforderungen z.B. durch Bereitstellung entsprechender Messauflösungen, gewachsen sind. Diese Arbeit soll daher einen aktuellen Überblick über heute verfügbare und erforschte Messtechnologien, wie beispielsweise der Rasterelektronenmikroskopie, geben. Daneben werden Handhabungstechniken zur Automatisierung von Prüfprozessen für Mikrokomponenten aufgezeigt. Diese Verfahren und Techniken sollen schließlich anhand von gegebener Anforderungen hinsichtlich deren Fähigkeit schemenhaft eingeschätzt werden.
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- Dipl.-Wirtsch.-Ing. Christoph Holzapfel (Auteur), 2010, Methoden und Maschinentechnik für die Qualitätssicherung von Mikroteilen, Munich, GRIN Verlag, https://www.grin.com/document/154767
