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Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik
Autor:in:
Thomas Wächtler (Auteur)
Matière:
Electrotechnique
Catégorie:
Mémoire (de fin d'études) , 2004 , Note: 1,3
Prix:
US$ 42,99
Untersuchung und Reduzierung des Leckstroms integrierter Schaltungen in Nanometer-Technologien bei konstanten Performanceanforderungen
Autor:in:
Dr.-Ing. Frank Sill (Auteur)
Matière:
Electrotechnique
Catégorie:
Thèse de Doctorat , 2007 , Note: 1,0
Prix:
US$ 46,99
Beiträge zur Technologieentwicklung für die Erzeugung von Airgap-Strukturen in Metallisierungssystemen in integrierten Schaltkreisen
Autor:in:
Dr.-Ing. Knut Schulze (Auteur)
Matière:
Electrotechnique
Catégorie:
Thèse de Doctorat , 2008 , Note: 2
Prix:
US$ 46,99
Impedanzmessung mit einem Sechstor-Reflektometer
Stand 1998
Autor:in:
Henrik Naß (Auteur)
Matière:
Electrotechnique
Catégorie:
Mémoire (de fin d'études) , 1998
Prix:
US$ 0,99